Stand-alone 고출력 EUV 검사기 장비 기술 및 EUV 검사기 인프라 구축 사업 기술지원기업 모집 공고

[대전테크노파크 공고 제2026-00호] 「Stand-alone 고출력 EUV 검사기 장비 기술 및 EUV 검사기 인프라 구축 사업」 기술지원기업 모집 공고 안내(안)

산업통상자원부, 대전광역시, (재)대전테크노파크는 반도체산업의 국내 기 술경쟁력 성장 및 첨단 반도체 핵심기술 초격차 확보를 위해 다음과 같이 기업을 모집하오니, 관련기업의 많은 신청 바랍니다. 2026년 7월 20일 (재)대전테크노파크 원장 I 모 집 개 요 □ 사 업 명: 산업혁신기반구축사업(R&D)

□ 과 제 명: Stand-alone 고출력 EUV 검사기 장비 기술 및 인프라 구축사업 □ 지원기간: 협약일로 부터 ~ 2026. 11. 20.(금)

□ 지원규모: 3개社(1기업당 최대 15,000천원 이내 지원)

□ 지원분야: EUV 소재 합성 공정개발 기술지원 □ 지원과제: EUV 소재 제조공정 고도화 및 상용화 기술지원 □ 지원대상: 전국 EUV 소재·부품·장비 관련 중소·중견기업 □ 지원내용 구 분 지원프로그램 내용 o 시제품 제조를 위한 합성공정 등 개발 시제품제작 o 시제품 제조에 필요한 원료 및 재료 등 지원 기술 o 1기업당 15,000천원 이내 지원 지원 o EUV PR 소재 물성평가 후 결과분석 및 공정 최적화 기술지도 (신규 구축 장비 및 기존 장비 활용)

물성평가 지원 o EUV용 고해상도 유/무기 PR 개발품의 순도 확인과 정성 분석, 정량 확인 등 제공 o 시제품 제작 & 기술지도

• 회분식 반응기(60L~1,000L), 미세유체 반응시스템 및 연속흐름 반응 시스템

지원 장비 o 물성평가 지원

• HPLC, 나노입도분석기, 분산안정도측정기, 수분측정기, 오토클레이브,

다중결정화스크리닝 시스템

□ 지원절차 1 사업공고 2 신청접수 3 선정평가 ▶ ▶ ▶ (공고)재단 홈페이지 신청기업→대전TP 대전TP(선정평가위원회)

4 유사과제 중복성 검토 5 결과통보 6 협약체결 ▶ ▶ ▶ 국가과학기술지식정보서비스 (NTIS) 대전TP→지원기업 대전TP-선정기업 7 과업수행 8 결과보고 및 최종평가 9 성과조사 등 사후관리 ▶ ▶ 선정기업 최종평가(성공/실패) 대전TP □ 참고사항 ○ 필요시, 장비 지원에 따른 공정 데이터 비밀유지 협약서 작성 ○ 기술지원은 일괄로 지원되며 개별적으로 선택 불가 ○ 공정 데이터(수집, 저장, 분석), 분석모델 및 방법론 등 저장 데이터 제공 II 신 청 방 법 및 진 행 절 차 □ 공고 및 신청기간: 2026.7.20.(월)~11.20.(금),18:00 / 상시모집, 3개사 선정 이후 종료 □ 신청방법: 신청기간 내 대전기업정보포털에 회원가입 후 온라인 접수 회원가입 및 해당사업 신청서 등 대전기업정보 접수증 출력 로그인 온라인 접수 제출서류 포털 접속 è è è è (기업 최종

• 기업회원 (신청내용 (압축파일 1개)

(www.dips.or.kr) 확인용)

로그인 입력) 첨부 후 등록 완료 □ 제출서류 안내 NO. 제출 서류 비고 1 지원신청서 (붙임 서식 제1호) 파일 등록 2 신청자력 요건 검토서 (붙임 서식 제2호)

3 개인(기업)정보 수집ᆞ이용ᆞ제공ᆞ조회 동의서 (붙임 서식 제2호) 날인 후 4 청렴서약서 (붙임 서식 제3호) 스캔 등록 5 확약서 (붙임 서식 제4호)

6 사업자등록증 / 온라인 접수 시 원클릭 제출 가능 표준재무제표증명(국세청, 24~25년도 자료) / 온라인 접수 시 원클릭 제출 가능 7 ※ 2025년 제출이 불가한 경우 23~24년도 표준재무제표를 제출하고 2025년 부가 가치세과세표준증명 제출 파일 등록 8 국세 납세증명서(국세청) / 온라인 접수 시 원클릭 제출 가능 9 지방세 납세증명서(민원24시) / 온라인 접수 시 원클릭 제출 가능 10 국민연금가입자명부(2025년도/국민연금관리공단)

11 4대 사회보험 사업장 가입자명부(2026년도/4대사회보험 정보연계센터)

□ 진행절차 ▪ 평가항목

• 사업 목표 및 결과물의 구체성, 사업실현 가능성, 기술수준 및

선정평가 경쟁력, 지원필요성, 활용도 및 파급효과, 성과창출 가능성 등 ▪ 평가방법: 서면 또는 발표평가 ▪ 선정기준: 70점 이상 예산 범위내 고득점 순으로 선정  ▪ 국가과학기술지식정보서비스(http://www.ntis.go.kr)를 통해 국가 연구개발사업으로 추진하였거나 추진 중인 연구개발과제와의 차별성 검토 실시 선정기업 ▪ 연구개발과제가 기개발 또는 기지원된 연구개발과제와 비교하여 중복성 검토 판단요소가 동일하거나 유사한 경우에는 중복과제로 판단 ※ 연구 주제가 유사하더라도 연구 목표, 연구수행방식, 연구단계 등이 다른 경우는 제외  ▪ 협약체결: 2자협약(선정기업↔대전테크노파크) 사업추진 ※ 협약기간, 협약내용, 협약금액 등 협약에 관한 세부사항은 별도계획 수립 후 추진 (기업지원)

• 지원기업 선정 통보 및 수정 사업계획서 제출

 ▪ 결과보고(지원기업 → 대전테크노파크) 결과보고 ▪ 제출서류: 수행결과보고서, 수행결과물  ▪ 평가 항목: 제반사항 이행여부, 사업목표 달성도, 사업수행과 최종평가 정의 적정성, 결과물의 수준 및 성과, 결과물 활용 ▪ 평가 기준: 70점 이상 사업 수행 ‘성공’ 으로 판단  ▪ 기업 만족도 조사 사후관리 ▪ 지원성과 모니터링 등 수행 ※ 상기 일정은 사정에 따라 변경될 수 있음 III 유 의 사 항 □ 지원제외대상 ○ 필수제출 서류 누락 또는 허위기재가 발견된 경우 ○ 다른 지역 및 기관에서 유사사업을 지원받고 있는 경우 ○ 국가연구개발사업에 참여제한(대표자, 과제책임자 등)을 받고 있는 경우 ○ 현재 의무사항(각종 보고서 제출, 환수금 납부 등)을 불이행 중인 경우

○ 채무불이행 및 부실위험이 인정되는 경우로서 다음 각호 중 어느 하나에 해당하는 경우 (단 비영리기관 및 공기업에 대해서는 적용하지 않음) NO. 제한사유 1 신청기업의 부도 세무당국에 의하여 국세, 지방세 등의 체납처분을 받은 경우 (단, 중소기업진흥공단 및 신용 2 회복위원회(재창업지원위원회)를 통해 재창업자금을 지원받은 경우와 신용보증기금 및 기술 신용보증기금으로부터 재도전기업주 재기지원보증을 받은 경우는 예외로 한다)

민사집행법에 기하여 채무불이행자명부에 등재되거나, 은행연합회 등 신용정보집중기관에 채무불이행자로 등록된 경우 (단, 중소기업진흥공단 및 신용회복위원회(재창업지원위원회)를 3 통해 재창업자금을 지원받은 경우와 신용보증기금 및 기술신용보증기금으로부터 재도전기업 중 재기지원보증을 받은 경우는 예외로 한다)

파산ᆞ회생절차ᆞ개인회생절차의 개시 신청이 이루어진 경우(단, 법원의 인가를 받은 회생계획 또는 변제계획에 따른 채무변제를 정상적으로 이행하고 있는 경우는 예외로 한다.)

최근 3개 회계연도 말 결산 재무제표 상 부채비율이 연속 500% 이상(자본전액잠식이면 부채비율이 500% 이상에 포함되는 것으로 간주한다) 인 기업 또는 유동비율이 연속 50% 이하인 기업 (단 기업 신용평가등급 중 ‘BBB’ 이상인 경우, 기술신용평가기관(TCB)의 기술신용평가 등급이 ‘BBB’ 이상인 경우 또는「외국인투자 촉진법」에 따른 외국인 투자기업 중 외국인 투자비율이 5 50% 이상이며, 기업설립일로부터 5년이 경과되지 않은 외국인 투자기업인 경우, 또는 산업 기술혁신사업 공통운영요령 제2조제9의7호의 산업 위기지역 소재 기업은 예외로 한다)

이때, 사업개시일로부터 접수 마감일까지 5년 미만인 기업의 경우는 적용하지 아니한다 ※ 상기의 신용등급 ‘BBB’에는 ‘BBB+’, ‘BBB’, ‘BBB-’ 를 모두 포함함 ※ 회계연도 말 결산 이후 재무상황이 호전된 경우, 수정된 재무제표와 외부회계법인의 의견서 제출 가능 • 최근 회계연도 말 결산 기준 자본전액잠식 6 ※ 회계연도 말 결산 이후 재무상황이 호전된 경우, 수정된 재무제표와 외부회계법인의 의견서 제출 가능 7 • 외부감사 기업의 경우 최근 회계연도 말 결산 감사 의견이 “의견거절” 또는 “부적정” □ 유의사항 ○ 접수기간 내에 신청서 및 제출서류를 제출하지 아니하였거나 제출서류 누락, 오류 등에 따른 불이익은 신청기업에 있으므로 제출 전 확인 필수 ○ 제출된 서류는 지원대상 선정 시 주요 자료로 활용되므로 상세하고 정확 하게 작성 요망. 제출된 서류는 반환하지 않으며, 기재된 내용이 사실과 다를 경우 선정을 취소할 수 있음 ○ 온라인 접수 관련 신청방법 및 자세한 사항은 대전기업정보포털 참조 ○ 온라인 접수 시 제출 서류 안내 순서대로 압축하여 1개의 압축파일로 첨부 등록 ○ 진행일정 및 결과는 개별통지 예정

IV 문의처 □ 담당자 ○ (사업관련) 대전테크노파크 반도체·나노·소재팀 정영수 책임

• Tel. 042-930-4922, E-mail. jys@djtp.or.kr

○ (장비관련) 대전테크노파크 이차전지·에너지팀 이근규 책임

• Tel. 042-930-4915, E-mail. kklee@djtp.or.kr

○ (시스템문의) 대전테크노파크 정보화팀 박유강 책임

• Tel. 042-251-2872